常州電子廠廢氣處理針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理，去除效率可在98%。但是相對來說投資就比較高了，有很多的企業(yè)無法接受動輒上百萬的廢氣處理投資。目前在電子行業(yè)中經(jīng)常被使用的到的廢氣處理技術包括：液體吸收法、活性炭吸附法、燃燒法、低溫等離子法、催化燃燒法、生物分解法等，電子廠所產(chǎn)生的主要污染物為苯、甲苯、二甲苯丁酮、乙酸乙酯等有機廢氣，這也是PM2.5的來源之一。電子工業(yè)從產(chǎn)品來分的話，自上而下可以分為電子整機產(chǎn)品和電子基礎產(chǎn)品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產(chǎn)品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。

常州電子廠廢氣處理的幾種方法進行簡單介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求；

3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產(chǎn)設備、生產(chǎn)工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；

4、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數(shù)十倍強度）在設備內，強裂解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等；

5、高溫等離子凈化法：經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物凈化率在90%左右。